�����y���x������������ʲôҪ����?���棬DMA-80�y���x�S���펧���һ����
�����y���x�đ�����ԭ�ӻ����У���ԭ������193.7nm ���L���l���ԭ�ӟɹ⣬�y��ԭ�ӟɹ⏊�ȣ��Է�����e�M�ж������p����ֹ��ȷ����՚��еĹ����������Ը��i�����Һ�ɼ����������ɹ��x��;�Ȼ�����������Һ�ɼ������ɵĹ��x����������Һ���c�p���귴�������p���깯�ȼtɫ�j������ȷ���ȡ����490nm ���L�y������ȣ��M�ж�����
�����y���x�ڹ��������е����úܴ�����͞���Ԕ����Bһ�£����������՚����к����|�O�y�IJɘ�Ҏ������ԭ�����չ��V�����՚�������B�����仯���ﱻ����Һ���գ��������ɹ��x��;���x����߀ԭ�ɹ�ԭ���������253.7nm ���L�£��Üy���x��ԭ�����շֹ���Ӌ�y����������ԭ�ӟɹ���V�����՚�������B�����仯���ﱻ����Һ���գ�������仯�c߀ԭ�ɹ����⡣
�������Ͼ����y���x�S�Ҿ͜y���x�Ĺ�������Ҫ��o��Ҏ����ķ������W�������P�ڜy���x�����P֪�R��Ո�Pע�ҹ�˾�پW��